由高精度气缸体和活塞实现，直线运动由气缸体和连杆的相对运动实现——发那科FANUC机器人
由高精度气缸体和活塞实现，直线运动由气缸体和连杆的相对运动实现。
优点：功率大，可直接与从动杆连接，无需减速装置，结构紧凑，刚度好，响应快，伺服驱动精度高。
缺点：需要添加液压源，容易产生液体泄漏，不适合高温和低温场合，因此液压驱动目前用于超大功率机器人系统。
DeviceNet接口母板，用于连接R-30IA控制器的后面板连接器和PC/104DeviceNet子板的PC/104连接器。有两种类型的主板。
全插槽主板，使用R-30 iA控制器后面板上的全尺寸插槽。
宽迷你插槽母板，使用R-30 iA控制器的宽迷你插槽
将1至4个PC/104 DeviceNet子板安装到母板上。全插槽母板上可安装四个子板，宽迷你插槽母板只能安装一个子板。连接到每个子板的网络的I/O设备向机架81至84分配I/O。
DeviceNet从属控制器板仅支持DeviceNet从属控制功能。从板只能用作I/O分配的机架81。DeviceNet只能使用一个从板。如果PC/104 DeviceNet子板已分配给机架81（板1），则忽略PC/104 DeviceNet子板，属DeviceNet板。
注：R-30IA控制器多支持两个母板。在单通道板和双通道板的任何组合中，多支持四个通道。在使用DeviceNet从板的情况下，可以使用其余三个通道。
DeviceNet接口网络连接
使用5端子Phoenix Combicon连接器将每个板连接到DeviceNet标准电缆。
使用机架号81至84分配在其各自板上交换信息的I/O。
